发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeichervorrichtung
摘要
申请公布号 DE4426121(B4) 申请公布日期 2005.11.03
申请号 DE19944426121 申请日期 1994.07.22
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 OM, JAE CHUL
分类号 H01L21/8247;H01L21/314;H01L21/822;H01L21/8234;H01L23/00;H01L23/60;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/088;H01L21/768;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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