发明名称 |
电路基板、使用该基板的TFT阵列基板及液晶显示装置 |
摘要 |
在制造液晶显示板使用的TFT阵列基板中,提供降低掩模枚数、即简化制造步骤并降低制造成本的TFT阵列基板。在基板表面上,形成栅极布线金属膜、栅极绝缘膜和半导体膜,用光刻法以第1图像依次腐蚀接触电极金属膜、半导体膜、栅极绝缘膜和栅极布线金属膜,对栅极布线和成为栅电极部分的栅极布线金属膜图形的侧面进行氧化,形成透明导电性膜,用光刻法以第2图形依次腐蚀透明导电性膜、接触电极金属膜和半导体膜的一部分。 |
申请公布号 |
CN1225719C |
申请公布日期 |
2005.11.02 |
申请号 |
CN00812572.4 |
申请日期 |
2000.09.08 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
小川一文 |
分类号 |
G09F9/30;G02F1/1345;H01L29/78;H01L21/268 |
主分类号 |
G09F9/30 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
杜日新 |
主权项 |
1.一种电路基板,其特征在于,包括:在绝缘性基板上的同一平面内由同一导电性金属膜分别形成的X布线;以及与所述X布线交叉的交叉部分被所述X布线分断的与X布线隔离的Y断续布线;所述X布线的侧面和上表面被绝缘性膜覆盖;被所述绝缘性膜覆盖的X布线分断、隔离的Y断续布线之间通过所述绝缘性膜上形成的Y断续布线连接电极来电连接,覆盖所述X布线的侧面的绝缘性膜是所述X布线自身的侧面受氧化而形成的绝缘性金属氧化膜。 |
地址 |
日本大阪府 |