利用深紫外线高数値孔径成像之向后折光影像系统

摘要

微光石版印刷投射之折反射式形成影像系统特征为高数值孔径之物镜，其中主要聚焦能力由反射产生以及折射角度受到限制以避免额外之像差。场改正光学元件以浸没构造附加至Mangin反射镜以增加数值孔径。Mangin反射镜与场改正光学元件间之光学连接安排成藉由限制入射角度或折射率差值以控制折射角度。在光瞳中达成径向对称偏极效应以改善影像之对比。