发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING A GAS FLUSHING SYSTEM
摘要
申请公布号 SG115613(A1) 申请公布日期 2005.10.28
申请号 SG20040000556 申请日期 2004.02.10
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 DE BOKX, PIETER KLAAS;VAN EMPEL, TJARKO ADRIAAN RUDOLF;HULTERMANS, RONALD JOHANNES;JONKERS, ADRIANUS CORNELIUS ANTONIUS
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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