| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG115686(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.28 |
| 申请号 |
SG20040002583 |
申请日期 |
2004.05.12 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
VAN DER MEULEN, FRITS;JACOBS, HERNES;TERKEN, MARTINUS ARNOLDUS HENRICUS |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
