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发明名称 Wässerige Dispersionsaufschlämmung für chemisch-mechanisches Polierverfahren
摘要
申请公布号 DE60015411(T2) 申请公布日期 2005.10.27
申请号 DE20006015411T 申请日期 2000.03.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI;JSR CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 YANO, HIROYUKI;MINAMIHABA GAKU,;MATSUI, YUKITERU;OKUMURA, KATSUYA;IIO, AKIRA;HATTORI, MASAYUKI
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/02;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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