微分数值孔径方法及装置

摘要

本发明提供一种利用由可变照射或观测数值孔径或二者产生的入射角的测量结果用于样品微分数值孔径分析的方法和装置。其中所述装置包括：产生光束的光源；可变照射数值孔径部件，其在数值孔径范围内变化的同时获得用于确定参数的数据，改变数值孔径从而改变投射到样品上照射线的角度范围；可变观测数值孔径部件，其在数值孔径范围内变化的同时获得用于确定参数的数据，改变数值孔径从而改变接收来自样品的散射线的角度范围；以及第一检测系统，其定位成接收和表征通过可变观测数值孔径部件接收的光线。本发明提供的装置和方法能利用最少的活动件，通过可变数值孔径或者孔径在变化的投射或散射角度范围对样品的临界尺寸进行分析。

主权项

1.一种用于确定样品参数的装置，包括：产生光束的光源；可变照射数值孔径部件，其在数值孔径范围内变化的同时获得用于确定参数的数据，改变数值孔径从而改变投射到样品上照射线的角度范围；可变观测数值孔径部件，其在数值孔径范围内变化的同时获得用于确定参数的数据，改变数值孔径从而改变接收来自样品的散射线的角度范围；以及第一检测系统，其定位成接收和表征通过可变观测数值孔径部件接收的光线。