发明名称 |
PHOTOSENSITIVE POLYMER AND PHOTORESIST COMPOSITION USING THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100524893(B1) |
申请公布日期 |
2005.10.24 |
申请号 |
KR19980000059 |
申请日期 |
1998.01.05 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, SANG JUN |
分类号 |
G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 |
主分类号 |
G03F7/075 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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