发明名称 METHOD FOR FORMING A CONTACT HOLE IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100523618(B1) 申请公布日期 2005.10.24
申请号 KR20020086347 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/425;H01L21/44;H01L21/4763;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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