流体喷射装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种流体喷射装置及其制造方法，其中流体喷射装置包括一基材、一第一通孔、一气泡产生装置、一保护层、以及一金属层；基材具有一流体腔以及一表面，第一通孔设置于表面且与流体腔相连通；气泡产生装置设置于表面上并邻近第一通孔，且位于基材的流体腔外；保护层设置于表面上，金属层以位于流体腔外的方式设置于保护层上，且具有一第二通孔，其中第二通孔与第一通孔连通。

主权项

1.一种流体喷射装置，包括一基材，具有一硅基底；以及一结构层，其设置在该硅基底上，且在与该硅基底之间形成一流体腔；一第一通孔，设置于该结构层中且与该流体腔相连通；一气泡产生装置，设置于该结构层的表面上并邻近该第一通孔，且位于该基材的流体腔外；其特征在于，该流体喷射装置还包括：一保护层，设置于该结构层的表面上；以及一金属层，以位于该流体腔外的方式设置于该保护层上。