用于半导体制造环境中分离制程步骤的方法、用于半导体制造环境中自动确认关键制程步骤的方法以及用以储存执行前述方法之电脑程式的资讯储存媒A SYSTEM AND METHOD FOR IDENTIFYING SEMICONDUCTOR PROCESS STEPS FOR QUEUE-TIME CONTROL AND ABNORMALITY DETECTION A SYSTEM AND METHOD FOR IDENTIFYING SEMICONDUCTOR PROCESS STEPS FOR QUEUE-TIME CONTROL AND ABNORMALITY DETECTION

摘要

一种用于半导体制造环境中分离制程步骤的方法。上述方法首先撷取与制造程序关联之制造资讯，其中上述制造资讯包括复数制程步骤对。将上述制造资讯至少区分为高值群和低值群，其系以第一统计方法为之。以第二统计方法处理上述高值群和上述低值群，计算出对应于每一制程步骤对的数值。依据计算得出之上述数值，将上述制程步骤对排序，再从经过排序之上述复数制程步骤对中删除至少一制程步骤对。继之，分析未被删除之上述排序的制程步骤对，以确认上述制程步骤。