制备层和层系统的方法以及涂敷的基材

摘要

为制备具有功能层的基材，该基材具有高的光学性能和/或高的表面平滑度，特别是低的浊度和显著更低的粗糙度，本发明提供对基材涂敷至少一个功能层的溅射方法，其中涂敷功能层的溅射方法被中断至少一次并施加厚度小于20nm的夹层，本发明还涉及由该方法制备的涂敷的基材。

主权项

1.一种采用至少一个功能层(2)涂敷基材(1)的方法，包括如下步骤：a)在真空系统(5)中提供基材(1)和层起始材料，和b)通过层起始材料的溅射对基材(1)涂敷功能层(2)，其特征在于，b1)中断用于对基材(1)涂敷功能层(2)的层起始材料的溅射至少一次并制备夹层(4)，它不同于功能层且厚度为≤20nm，b2)在中断之后继续层起始材料的溅射。