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发明名称 PLASMA REACTION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100522166(B1) 申请公布日期 2005.10.10
申请号 KR20050044527 申请日期 2005.05.26
申请人 KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 发明人 KIM, KWAN TAE;SONG, YOUNG HOON;LEE, DAE HOON;LEE, JAE OK;CHA, MIN SUK;SHIN, WAN HO;KIM, SEOCK JOON
分类号 H05H1/26 主分类号 H05H1/26
代理机构 代理人
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