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发明名称 Polymer, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号 KR100519406(B1) 申请公布日期 2005.10.07
申请号 KR20000071838 申请日期 2000.11.30
申请人 发明人
分类号 G03F7/075;C08F30/08;C08F32/08;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
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