发明名称 METHOD OF FORMING MULTILAYER INTERCONNECTION LINE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100521453(B1) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 KR20040060585 申请日期 2004.07.30
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, JEONG HO
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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