| 发明名称 |
METHOD FOR THE TREATMENT OF SUBSTRATE SURFACES |
| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein die Behandlung bzw. Bearbeitung von Substratoberflächen. Insbesondere betrifft die Erfindung Verfahren zur Modifikation der Oberfläche von Siliziumscheiben.</p> |
| 申请公布号 |
WO2005093788(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.06 |
| 申请号 |
WO2004DE00597 |
申请日期 |
2004.03.22 |
| 申请人 |
RENA SONDERMASCHINEN GMBH;DELAHAYE, FRANCK |
发明人 |
DELAHAYE, FRANCK |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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