| 发明名称 | 检查装置 | ||
| 摘要 | 提供一种检查装置。随着在LCD用等基板上生成的透明导电膜图形的膜厚度变薄，图形边缘部的对比度降低，因此用现有技术难以测量。因此，提供一种增加这样的透明导电膜部分和其它以外部分的对比度、可容易地实现膜厚小的透明导电膜图形的尺寸测量的技术。照明单元使用产生在可见光以下的波长区具有高辉度的光的灯、和遮断可见光以上的长波长成分的光学滤光器，增加透明导电膜部分和其它以外部分的对比度，可容易地实现膜厚小的透明导电膜图形的尺寸测量。 | ||
| 申请公布号 | CN1677051A | 申请公布日期 | 2005.10.05 |
| 申请号 | CN200510060169.7 | 申请日期 | 2005.03.29 |
| 申请人 | 株式会社日立国际电气 | 发明人 | 伊从洁;野上大;小菅正吾 |
| 分类号 | G01B11/02 | 主分类号 | G01B11/02 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种检查装置，用显微镜放大在基板上形成的图形的尺寸，进行尺寸测量，其特征在于，包括：灯，具有可见光以下的波长区的光谱；以及光学滤光器，遮断波长比可见光长的波长区的光成分。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||