用于基片架的基片支承装置

摘要

一种基片支承装置，用于在一基片载架(100)内支承至少一个基片(124)，以实现基片下垂的量最小。第一支杆(128)沿第一支承接触线支承基片的一侧，而第二支杆(128)沿第二支承接触线支承基片的另一侧。第一和第二支承接触线在基片中心线的两侧偏置，具体偏置量通过为实现下垂量最小而对基片进行的有限元分析来确定。每个杆支承臂最好包括安装于每个支杆两侧的两个悬臂梁。此外，为在载架内支承多个所需的基片，设有多个支杆和相应的杆支承件。

主权项

1.一种基片支承装置，用于在一基片载架内支承至少一个基片，它具有一个顶板和一个底板，并包括：具有一个固定于上述顶板的顶安装面和一个固定于上述底板的底安装面的第一支承框架，它具有相互间隔的多个支臂，每个支臂定位成沿第一支承接触线支承基片；具有一个固定于上述顶板的顶安装面和一个固定于上述底板的底安装面的第二支承框架，它具有相互间隔的多个支臂，每个支臂定位成沿第二支承接触线支承基片；其中，上述第一和第二支承接触线通过对基片的有限元分析来确定，以便使基片的下垂量最小地支承基片。