发明名称 | 微镜元件和光开关 | ||
摘要 | 微镜元件和光开关。微镜元件被构造为:镜体通过支架布置在其上布置有一对镜驱动电极和一光检测单元的布线基板上。镜体由镜架和被该镜架可摆动地支撑的可动镜构成。透光孔形成在所述可动镜的中心。通过所述透光孔的光由光检测单元检测。 | ||
申请公布号 | CN1677158A | 申请公布日期 | 2005.10.05 |
申请号 | CN200410086780.2 | 申请日期 | 2004.10.29 |
申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 山本毅;竹内真一 |
分类号 | G02B26/08;B81B3/00 | 主分类号 | G02B26/08 |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉 |
主权项 | 1.一种微镜元件,包括:镜体,通过支架布置在基板上,所述镜体具有镜架和被所述镜架可摆动支撑的可动镜,所形成的镜体允许入射光的一部分通过所述可动镜;以及光检测单元,所述光检测单元布置在所述基板上,并检测通过所述可动镜的光。 | ||
地址 | 日本神奈川县川崎市 |