内壁镀膜介电管的真空镀膜设备

摘要

本实用新型是关于一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，其包括一真空镀膜台，其台面下为设备层部分，其台面以上为介电管的内壁镀膜部件，该介电管内壁镀膜部件包括：固设在真空镀膜台台面上的真空镀膜座；直接以电插座方式固定插接在真空镀膜座上的真空镀膜杆；以及由介电管构成的真空室。本实用新型内壁真空镀膜设备在传统设备的基础上，增设了真空镀膜座、真空镀膜杆和利用介电管本身构成的真空室，从而实现了对介电管内壁进行镀膜的目的；这样便无需大型昂贵的真空镀膜设备，而且最大限度地缩小真空镀膜室体积，并能够大幅度降低获取高真空度的能耗。

主权项

1、一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，包括一真空镀膜台，其台面下为设备层部分，其特征在于其台面以上为介电管的内壁镀膜部件，该介电管内壁镀膜部件包括：固设在真空镀膜台台面上的真空镀膜座；固定插设在真空镀膜座上的真空镀膜杆；以及由介电管构成的真空室；其中，真空镀膜座向上支撑真空室，并且支持和定位真空镀膜杆，真空镀膜座向下与真空系统的管路连接在一起，该真空镀膜座的电路与可调配电装置相连，真空镀膜座安装设置在真空镀膜台上。