发明名称 Interferometrische Messanordnung
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messanordnung zum Messen von z. B. Formabweichungen, Lage, Oberflächeneigenschaften, Schwingungen eines Objektes mit einem ein Modulationsinterferometer (12) und eine Strahlungsquelle (11) für kurzkohärente Strahlung aufweisenden Sendeteil und einer daran zum Zuführen der Strahlung über einen gemeinsamen Lichtweg (41) angeschlossenen Messsondenanordnung (30) und einem mit dem Sendeteil in einer Sende-/Empfangseinheit (10) zusammengefassten Empfangsteil (15) für die Auswertung der von der Messsondenanordnung zurückkommenden Messstrahlung. Ein verringerter Aufwand mit verbesserten Einsatzmöglichkeiten wird dadurch erreicht, dass die Messsondenanordnung (30) mehrere Messsonden (32.1, 32.4) aufweist, die über jeweilige optische Lichtwege (42) an den gemeinsamen Lichtweg (41) angekoppelt sind, und dass an einer Koppelstelle zwischen dem gemeinsamen Lichtweg (41) und den jeweiligen Lichtwegen (24) zu den Messsonden (32.1, 32.4) eine Schaltvorrichtung (20) angeordnet ist, über die die verschiedenen Messsonden (32.1, 32.4) individuell mit der Sende-/Empfangseinheit (10) in bidirektionale Übertragungsverbindung für die von dem Modulationsinterferometer (12) zugeführte Strahlung einerseits und die Messstrahlung andererseits bringbar sind (Fig. 1).
申请公布号 DE102004010754(A1) 申请公布日期 2005.09.22
申请号 DE20041010754 申请日期 2004.03.05
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DRABAREK, PAWEL
分类号 G01B9/02;G01B11/16;G01B11/30;G01D5/353;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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