| 主权项 |
1.一种静电夹盘装置用电极片,系藉由绝缘性黏接剂层而贴有一对绝缘性有机膜片,且在前述绝缘性黏接剂层内形成有电极者,其特征为:前述绝缘性黏接剂层系形成较前述电极更厚的厚度。2.如申请专利范围第1项之静电夹盘装置用电极片,其中,前述电极之厚度系为20m以下。3.如申请专利范围第1项或第2项之静电夹盘装置用电极片,其中,邻接之前述电极的间隔为2mm以下,同时前述一对绝缘性有机膜片中,用以吸附被吸附体侧的绝缘性有机膜片的表面凹凸差系在10m以下。4.如申请专利范围第1项至第3项中任1项之静电夹盘装置用电极片,其中,前述一对绝缘性有机膜片中,用以吸附被吸附体侧的绝缘性有机膜片的厚度为20至150m。5.如申请专利范围第1项至第4项中任1项之静电夹盘装置用电极片,其中,构成前述绝缘性黏接剂层的绝缘性黏接剂系具有差电压5kV以上的绝缘耐性。6.一种静电夹盘装置,系包含电极片及基板,该电极片具备:一对绝缘性有机膜片;用以贴附前述一对绝缘性有机膜片之绝缘性黏接剂层;以及设在前述绝缘性黏接剂层内的电极,而且在基板上贴附申请专利范围第1项至第5项中任1项之静电夹盘装置用电极片而成。图式简单说明:第1图为本发明绝缘性黏接剂之绝缘耐性试验的说明图。第2图为显示本发明实施形态之静电夹盘装置之结构图。第3图为显示本发明实施形态之静电夹盘装置之其他结构图。第4图为显示本发明之实施形态之静电夹盘装置之其他结构图。第5图(a)、第5图(b)为用以说明本发明之实施例及比较例之吸附力的评估方法图。 |
