带有霍尔元件的磁场传感器

摘要

公开了一种对称垂直霍尔元件，它包括一个具有第一种导电类型的阱(2)，其嵌在一个具有第二种导电类型的基片(3)中，且与用作电流和电压触点的四个触点(4，5，6，7)相接触。从电气角度来看，这样一个具有四个触点的霍尔元件可以视为一个由霍尔元件的四个电阻(R₁到R₄)组成的电阻桥。从电气角度来看，当四个电阻(R₁到R₄)的阻值相等时，此霍尔元件可以视为处于理想状态。为了维持电阻桥的电平衡，本发明提出了一系列措施。第一种措施是提供至少一个附加的电阻，而第二种措施是在局部增大或减小阱的导电性。第三种措施是提供两个按如下方式并联连接的霍尔元件：它们的霍尔电压是同向施加的，且其偏移电压大部分都相互抵消了。

主权项

1.具有一个霍尔元件(1)的磁场传感器，所述霍尔元件具有沿着一条直线(8)排列的两个内部触点和两个外部触点(4-7)，其特征在于，触点(4-7)排列在一个具有第一种导电类型的阱(2)的表面上，所述的阱嵌在一个具有第二种导电类型的基片(3)中，而且两个外部触点(4，7)通过电阻相连接。