发明名称 Energie- und Medienanschluss für eine aus mehreren Kammern bestehende Beschichtungsanlage
摘要 Die Erfindung betrifft ein Energie- und Medienanschlussmodul für Beschichtungsanlagen. Dieses Modul dient zur Versorgung mit Kühlwasser, Druckluft, Prozessgasen, Signal-, Steuer- und Kathodenstrom. Es kann von nur einer Person in kurzer Zeit von einer Beschichtungskammer zur nächsten Beschichtungskammer entlang einer Beschichtungslinie umgesetzt werden. Außerdem ist es möglich, das Energieanschlussmodul ohne mechanische Demontage sämtlicher Anschlüsse von einer Beschichtungskammer für Wartungszwecke abzutrennen und zu versetzen.
申请公布号 DE102004006419(A1) 申请公布日期 2005.09.08
申请号 DE20041006419 申请日期 2004.02.09
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 HATTENDORF, GUIDO;ROEDLING, GERT;RIST, GERHARD
分类号 C03C21/00;C23C14/34;C23C14/56;F04B27/02;F16K11/02;H01J37/32;H01J37/34;H01L51/40;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C03C21/00
代理机构 代理人
主权项
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