发明名称 |
Energie- und Medienanschluss für eine aus mehreren Kammern bestehende Beschichtungsanlage |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Energie- und Medienanschlussmodul für Beschichtungsanlagen. Dieses Modul dient zur Versorgung mit Kühlwasser, Druckluft, Prozessgasen, Signal-, Steuer- und Kathodenstrom. Es kann von nur einer Person in kurzer Zeit von einer Beschichtungskammer zur nächsten Beschichtungskammer entlang einer Beschichtungslinie umgesetzt werden. Außerdem ist es möglich, das Energieanschlussmodul ohne mechanische Demontage sämtlicher Anschlüsse von einer Beschichtungskammer für Wartungszwecke abzutrennen und zu versetzen.
|
申请公布号 |
DE102004006419(A1) |
申请公布日期 |
2005.09.08 |
申请号 |
DE20041006419 |
申请日期 |
2004.02.09 |
申请人 |
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG |
发明人 |
HATTENDORF, GUIDO;ROEDLING, GERT;RIST, GERHARD |
分类号 |
C03C21/00;C23C14/34;C23C14/56;F04B27/02;F16K11/02;H01J37/32;H01J37/34;H01L51/40;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C03C21/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|