一种具有光吸收掩模的装置及其加工方法

摘要

本发明提供了一种用于加工光学装置的方法，该光学装置包括在透明衬底上形成的至少一个光学元件。该方法包括确定将吸收光的所述衬底的一个区域；和在加工所述至少一个光学元件之前，在所确定的区域上加工一个光吸收掩模。本发明也提供了一种光学装置，其包括衬底(102)；以及在所述衬底上形成的第一和第二光学元件，其中所述第一光学元件(104)有两个模式，每个模式对所述第一光学元件上的光入射都产生不同的光响应，且其中所述第二光学元件(108)吸收光，并且先于所述第一光学元件在所述衬底上形成。

主权项

1.一种用于加工光学装置的方法，该光学装置包括在一个透明衬底上形成的至少一个作用光学元件，所述方法包括：确定将吸收光的所述衬底的一个区域，其中所述的所确定的区域横向偏离所述至少一个作用光学元件；和在加工所述至少一个作用光学元件之前，在所述的所确定的区域上加工一个光吸收掩模。