发明名称 PLASMA REACTOR FOR PASSIVATING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100512701(B1) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 KR19997012082 申请日期 1998.06.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3213;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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