发明名称 生产III族氮化物晶体的方法
摘要 提供一种生产III族氮化物晶体的方法,在该方法中使氮等离子体(8a)与含有III族元素和碱金属的熔体(7)接触以生长III族氮化物晶体。此外,也提供另一种生产III族氮化物晶体的方法,在该方法中III族氮化物晶体在放置在含有III族元素和碱金属的熔体(7)中的基质(10)上生长,而且所述熔体(7)表面与所述基质(10)表面之间的最小距离设置为至多50mm。
申请公布号 CN1664179A 申请公布日期 2005.09.07
申请号 CN200510004041.9 申请日期 2005.01.10
申请人 住友电气工业株式会社;森勇介 发明人 佐佐木孝友;森勇介;吉村政志;川村史郎;弘田龙
分类号 C30B29/40 主分类号 C30B29/40
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 陈平
主权项 1.一种生产III族氮化物晶体的方法,其中使氮等离子体(8a)与含有III族元素和碱金属的熔体(7)接触以生长III族氮化物晶体。
地址 日本国大阪府