| 摘要 |
本发明系提供能减少线缘粗糙度(line edge roughnress)，及具有优良解像性之正型光阻组成物。该组成物系含有(A)酸作用下可增加硷可溶性之树脂成分用，具有含多环式基之酸解离性溶解抑制基的(甲基)丙烯酸酯所衍生之构成单位(a1)，具有含内酯之单环或多环式基的(甲基)丙烯酸酯所衍生之构成单位(a2)，具有含羟基之多环式基的(甲基)丙烯酸酯所衍生之构成单位(a3)及构成单位(a2)、(a3)以外的具有含多环式基之非酸解离性溶解抑制基的(甲基)丙烯酸酯所衍生之构成单位(a4)的共聚物，以及(B)曝光下会产酸之酸发生剂用，下列一般式(b–1)或(b–2)所示至少一种之化合物。 |
