发明名称 板状矽之制造方法、板状矽制造用基板、板状矽、使用该板状矽之太阳电池及太阳电池模组
摘要 本发明为求扩大太阳电池之需求,其目的在以低成本提供一种无须经过雷射加工及机械加工等制程,而具有贯穿孔(13A)及缺口部(31B)之板状矽(11,31)。此外,本发明之目的在使用所获得之板状矽(11,31),以低价格提供一种设计性高之光透过型(See-through型)之太阳电池、太阳电池模组,或射极重叠通过型太阳电池、太阳电池模组。因而本发明之板状矽之制造方法系使基板接触于矽之熔液,使矽结晶生长于基板表面,其特征为:具备使板状矽(11,31)结晶生长于基板表面,并于板状矽(11,31)上形成贯穿孔(13A)及/或缺口部(31B)之步骤。
申请公布号 TWI239093 申请公布日期 2005.09.01
申请号 TW092104041 申请日期 2003.02.26
申请人 夏普股份有限公司 发明人 大石隆一;佃至弘
分类号 H01L27/00 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种板状矽之制造方法,其系使基板接触于矽之熔液,使矽结晶生长于该基板表面者,其特征为:具备使板状矽结晶生长于前述基板表面,并于该板状矽上形成贯穿孔及/或缺口部之步骤。2.如申请专利范围第1项之板状矽之制造方法,其中前述基板具有贯穿孔形成部及/或缺口部形成部。3.如申请专利范围第1项之板状矽之制造方法,其中前述基板在接触于矽熔液之面上周期性并列设置突起,于形成1或2个以上突起之部分设置贯穿孔形成部及/或缺口部形成部。4.一种板状矽制造用基板,其特征为:使用于申请专利范围第1项之制造方法中,并具有贯穿孔形成部及/或缺口部形成部。5.如申请专利范围第4项之板状矽制造用基板,其中前述贯穿孔形成部系基板表面之凸部或凹部,凸部之高度尺寸或凹部之深度尺寸大于结晶生长之板状矽之厚度尺寸。6.如申请专利范围第4项之板状矽制造用基板,其中前述缺口部形成部系基板表面之凸部或凹部,凸部之高度尺寸或凹部之深度尺寸大于结晶生长之板状矽之厚度尺寸。7.一种板状矽,其特征为:系藉向申请专利范围第1项之方法制造,且具有贯穿孔及/或缺口部。8.一种太阳电池,其特征为:系使用藉由申请专利范围第1项之方法制出之板状矽。9.如申请专利范围第8项之太阳电池,其中于光入射面之内面及/或侧面配置有电极。10.一种太阳电池模组,其特征为:系使用申请专利范围第8项之太阳电池。图式简单说明:图1A系具有贯穿孔之本发明之板状矽之立体图。此外,图1B系贯穿孔形成部为凸部之本发明之板状矽制造用基板的立体图,图1C系贯穿孔形成部为凹部之本发明之板状矽制造用基板的立体图。图2系本发明之板状矽制造用基板之矽结晶生长面的平面图。图3A系具有缺口孔之本发明之板状矽之立体图。此外,图3B系缺口部形成部为凸部之本发明之板状矽制造用基板的立体图,图3C系缺口部形成部为凹部之本发明之板状矽制造用基板的立体图。图4A-图4H系显示使用具有贯穿孔之板状矽之本发明之太阳电池之制造方法的步骤图。图5A-图5H系显示使用具有贯穿孔之板状矽之本发明之太阳电池之其他制造方法的步骤图。图6A-图6H系显示使用具有贯穿孔之板状矽之本发明之太阳电池之其他制造方法的步骤图。图7A系具有贯穿孔之本发明之太阳电池内面的平面图。此外,图7B系以图7A之VIIB-VIIB切断时之剖面图。图8系显示将具有贯穿孔之本发明之太阳电池实施配线状态的平面图。图9A系使用具有贯穿孔之本发明之太阳电池制造之太阳电池模组的平面图,图9B系其剖面图。图10系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图11A系具有贯穿孔之本发明之板状矽之立体图,图11B系具有贯穿孔形成部之本发明之板状矽制造用基板之立体图。图12系本发明之板状矽之制造方法使用之制造装置的剖面图。图13A系具有贯穿孔之本发明之板状矽之立体图。此外,图13B系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图14系具有贯穿孔之本发明之板状矽之立体图。图15系具有缺口部之本发明之板状矽之立体图。图16A系具有贯穿孔及缺口部之本发明之板状矽之立体图。此外,图16B系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图17系具有贯穿孔及缺口部之本发明之板状矽之立体图。图18A系具有贯穿孔及缺口部之本发明之板状矽之立体图。此外,图18B系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图19A系具有贯穿孔及缺口部之本发明之板状矽之立体图。此外,图19B系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图20系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图21系本发明之板状矽制造用基板之立体图。图22系本发明之板状矽制造用基板之立体图。
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