发明名称 用于计算光量之装置及其方法
摘要 本发明揭示一种计算光量的方法,藉由使用一黏结力测量单元(71)根据紫外光照射单元(61)照射紫外光可固化胶带的紫外光量来测量紫外光可固化胶带(11或21)的黏结力,及藉由使用一计算单元从已测量的紫外光可固化胶带的黏结力来计算对应预定黏结力的紫外光量,及其装置。该预定黏结力可预先储存在储存单元中或预先根据至少一种紫外光可固化胶带或紫外光可固化胶带的流逝时间决定该预定黏结力。然后,自动计算使用的紫外光可固化胶带需要光量以避免因光量不足或超过光量造成的问题。
申请公布号 TWI239037 申请公布日期 2005.09.01
申请号 TW093120993 申请日期 2004.07.14
申请人 东京精密股份有限公司 发明人 川岛勇
分类号 H01L21/00;H01L21/30 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种用于计算光量之装置,其包括: 一紫外光照射构件,其照射紫外光; 一黏结力测量构件,其测量一紫外光可固化胶带的 黏结力;及 一计算构件,其藉由该黏结力测量构件根据该紫外 光照射构件照射该紫外光可固化胶带的紫外光量 而测量的紫外光可固化胶带的黏结力,来计算对应 一预定黏结力的紫外光量。 2.如请求项1之用于计算光量之装置,进一步包括储 存构件,其储存该预定黏结力。 3.如请求项1或2之用于计算光量之装置,其中根据 至少任何一种的紫外光可固化胶带及该紫外光可 固化胶带的流逝时间来决定该预定黏结力。 4.一种用于计算光量之方法,其包括以下步骤: 使用一黏结力测量构件根据一紫外光照射构件照 射一紫外光可固化胶带的紫外光量来测量该紫外 光可固化胶带的黏结力; 使用计算构件从该紫外光可固化胶带的已测量黏 结力来计算对应一预定黏结力的紫外光量。 5.如请求项4之用于计算光量之方法,其中该预定黏 结力系预先储存在储存构件内。 6.如请求项4或5之用于计算光量之方法,其中根据 至少任何一种的紫外光可固化胶带及该紫外光可 固化胶带的流逝时间来决定该预定黏结力。 图式简单说明: 图1为显示一包括根据本发明用于计算光量之装置 的水处理设备之示意图; 图2a为显示根据本发明用于计算光量之装置的一 部份之俯视图; 图2b为显示根据本发明用于计算光量之装置的一 部份之侧视图; 图3为由计算光量的单元执行的程式流程图; 图4为显示光量及黏结力之间的关系; 图5a为显示分割胶带及流逝时间之间的关系之图 表;及 图5b为显示表面保护胶带及流逝时间之间的关系 之图表。
地址 日本