探针卡

摘要

探针卡。本发明的目的是提供一种可在不形成通孔的情况下轻易地设置一布线图案、同时使用硅基底作为支撑基底的探针卡。所述探针卡包括：一支撑基底(100)，其一个表面被形成为具有一个台阶的金字塔形；多个探针(200)，其被设置在所述支撑基底(100)的较厚部分的表面上；多个凸块(110)，其被设置在所述支撑基底(100)的较薄部分的表面上；以及多个布线图案(120)，其被设置在所述支撑基底(100)的所述一个表面上且使每一所述探针(200)与每一所述凸块(110)电连接。

主权项

1.一种探针卡，包括：一支撑基底，其一个表面具有多个探针和多个通过布线图案与所述探针电连接的凸块；及一主基底，其与所述支撑基底的另一表面相对，且与所述支撑基底上的所述凸块电连接，其特征在于：所述支撑基底的所述一个表面被形成为具有一个或多个台阶的凸形，且所述探针被设置在所述支撑基底的所述一个表面的顶部台阶的表面上，同时所述凸块被设置在所述支撑基底的所述一个表面的较下台阶的表面上。