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发明名称 ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITIONS FOR USE WITH LOW k DIELECTRIC MATERIALS
摘要
申请公布号 EP1567288(A2) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 EP20030787250 申请日期 2003.12.02
申请人 BREWER SCIENCE, INC. 发明人 PULIGADDA, RAMA;LAMB, JAMES, E.;FLAIM, TONY, D.
分类号 B05D3/02;H01L21/312;B05D1/00;B32B17/10;C08F20/26;C08F20/32;C08F220/28;C08G59/32;C08J7/04;C09D163/00;G03F7/09;G03F7/11;H01L;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):B05D3/02 主分类号 B05D3/02
代理机构 代理人
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