发明名称 THINNER COMPOSITION AND METHOD OF STRIPPING PHOTORESIST USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050080603(A) 申请公布日期 2005.08.17
申请号 KR20040008678 申请日期 2004.02.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AHN, SEUNG HYUN;BAE, EUN MI;CHOI, BAIK SOON;CHON, SANG MUN;KIM, DAE JOUNG;YOON, KWANG SUB;PARK, SANG KYU;KIM, JAE HO;YI, SHI YONG;KIM, KYOUNG MI;YOUN, YEU YOUNG
分类号 G03F7/42;C09D9/00;C09D9/04;C11D1/00;C11D7/26;C11D11/00;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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