物体表面的异物检测方法以及异物检测装置和光盘装置

摘要

在异物检测装置中，光信号检测单元(1)使光斑在规定方向扫描的同时，在被检查物体面上照射光斑，接收来自被检查物体面的反射光，生成与反射光量对应的光检测信号(HF)。异物检测单元(2a～2h)从光检测信号(HF)中生成与在被检查物体上附着的异物的扫描方向上的开始端以及终端对应出现的异物检测信号(C)。异物检测信号例如作为对光检测信号(HF)和使光检测信号(HF)以规定时间延迟的延迟信号(HF1)进行减法运算的差信号被求出。异物判断单元(3)从异物检测信号(C)生成表示异物存在区域的异物判断信号(H)。

主权项

1、一种物体面上的异物检测方法，其特征在于，包括：使光斑在规定方向上扫描的同时，在被检查物体面上照射光斑的步骤；接收来自上述被检查物体面的反射光，生成与该反射光量对应的光检测信号的步骤；根据该光检测信号，生成与在附着在上述被检查物体上的异物的扫描方向上的开始部分以及终端部分对应出现的异物检测信号的步骤；和从该异物检测信号生成表示异物存在的区域的异物判断信号的步骤。