| 发明名称 |
HERSTELLUNG EINES METALLISCHEN MUSTERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT301872(T) |
申请公布日期 |
2005.08.15 |
| 申请号 |
AT20020719808T |
申请日期 |
2002.02.12 |
| 申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
MEYER, HEINRICH;GRIESER, UDO |
| 分类号 |
G03F1/00;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/46;(IPC1-7):H01L21/321;H05K3/24 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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