| 摘要 |
<p>Mikromekaniske (10, 20) eller mikrooptoelekttoniske (30) anordninger beskrives. Disse omfatter en avsetning av gettermateriale (17, 25, 35) for sorpsjon av gasser som er skadelige for operasjon av nevnte anordninger, og et integrert system (18, 18', 19, 19") for oppvarming av gettermaterialet fra utsiden på hvert tidspunkt dette kreves i løpet av levetiden til anordningen. Forskjellige utførelser av en støtteplate ("support") for fremstilling av disse anordningene beskrives også.</p> |
