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发明名称
摘要
申请公布号
JP3681794(B2)
申请公布日期
2005.08.10
申请号
JP19950221618
申请日期
1995.08.30
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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