用于制造纳米粉末的感应耦合等离子反应器

摘要

本发明涉及一种制造纳米粉的高频感应等离子反应器，其设计能使用固相粉末作为起始原料，连续地批量生产纳米粉，并且通过将原料粉末彻底蒸发，能制造高纯度纳米粉。高频感应等离子反应器包括上体和盖。上体具有反应管，反应管内部形成垂直延伸的反应室，上体还具有环绕在反应管外围的高频线圈，以及位于反应管内部的陶瓷内壁。陶瓷内壁具有多个气体通过孔，并与反应管的内侧壁之间形成气体流动通道，使氩气从外部流入反应室。盖装在反应室的上端，适于密封反应室。盖具有与反应室相通的粉末喷射管。

主权项

1.一种用于制造纳米粉的等离子反应器，包括：上体，该上体具有：反应管，反应管内部形成垂直延伸的反应室；环绕在反应管外围的高频线圈；以及位于反应管内部的陶瓷内壁，陶瓷内壁具有多个气体通过孔，并与反应管之间形成气体流动通道，使氩气从外部流入反应室；以及盖，盖装在反应室的上端，并适于密封反应室，盖具有与反应室相通的粉末喷射管。