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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100505062(B1)
申请公布日期
2005.07.29
申请号
KR20030011225
申请日期
2003.02.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/31;H01L21/4763;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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