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发明名称 Verfahren zur Durchführung von Planarisierungs- und Grabensätzung und Vorrichtung dafür
摘要
申请公布号 DE69825112(T2) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 DE19986025112T 申请日期 1998.09.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 CHAUDHARY, NIRMAL
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01J37/08 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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