半导体器件的测试图案及利用其的测试方法

摘要

公开了一种半导体器件的测试图案及利用其的测试方法。半导体器件的测试图案包括位于半导体衬底上的导电图案，并且导电图案包括多个线路区和多个连接区，多个线路区平行排列并间隔一均匀间距，多个连接区用于按锯齿形连接多个线路区。测试图案包括电开关对应连接区的相邻线路区的第一末端的多个晶体管，并且各个晶体管包括源区和漏区，源区电连接相邻线路区之一的一端，漏区电连接相邻线路区中另一个的一端。此外，晶体管选择部分电连接多个晶体管的栅极，用于选择多个晶体管之一或其组合。

主权项

1、一种半导体器件的测试图案，包括：位于半导体衬底上的导电图案；由预定间距限定所述导电图案的多个晶体管，所述晶体管的源和漏区分别电连接所述导电图案的不同位置；以及电连接所述多个晶体管的各个栅极的晶体管选择部分，用于选择所述多个晶体管的一个或晶体管组合。