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发明名称 Justiervorrichtung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Justiervorrichtung zur Ausrichtung eines Gegenstandes in einer Ebene.
申请公布号 DE10359273(A1) 申请公布日期 2005.07.21
申请号 DE20031059273 申请日期 2003.12.17
申请人 THALLNER, ERICH 发明人 THALLNER, ERICH
分类号 G03F7/20;H01L21/68;(IPC1-7):G12B5/00;H01L21/66 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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