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发明名称 CLEANING APPARATUS AND METHOD OF SURFACE IN PLATE TYPE OBJECT HAVING SLANT
摘要
申请公布号 KR20050074403(A) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20050055270 申请日期 2005.06.24
申请人 DAEYOUNGTECH CO., LTD. 发明人 AN, DONG JOON
分类号 H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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