发明名称 | 模仁制造方法 | ||
摘要 | 一种模仁制造方法,其包括以下步骤:提供金属基板;于该金属基板上涂布一均匀光阻层;利用一具预定图案之光罩对该光阻层进行曝光显影步骤,形成模仁。 | ||
申请公布号 | TW200524056 | 申请公布日期 | 2005.07.16 |
申请号 | TW093100744 | 申请日期 | 2004.01.13 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 余泰成;吕昌岳;陈杰良 |
分类号 | H01L21/479 | 主分类号 | H01L21/479 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |