发明名称 模仁制造方法
摘要 一种模仁制造方法,其包括以下步骤:提供金属基板;于该金属基板上涂布一均匀光阻层;利用一具预定图案之光罩对该光阻层进行曝光显影步骤,形成模仁。
申请公布号 TW200524056 申请公布日期 2005.07.16
申请号 TW093100744 申请日期 2004.01.13
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 余泰成;吕昌岳;陈杰良
分类号 H01L21/479 主分类号 H01L21/479
代理机构 代理人
主权项
地址 台北县土城市自由街2号