带有基板异常检测电路的装置

摘要

可以准确地发现、防止半导体试验装置中的DSA误安装或连接器的连接不良。本发明的半导体试验装置，具有搭载在插座板(11)上的一组DSA(10a、10b)、和包括与该一组DSA(10a、10b)的各插座板(11)的连接器(14)连接的连接器的母板(20)，还包括：ID设定用板，设定附与该DSA(10a、10b)的ID号码，输出表示该ID号码的ID信号；一致电路，输入由ID设定用板输出的ID信号，检测该ID信号的一致不一致；和菊花链电路，将来自母板(20)侧的连接器(21)之一的信号输入，经过对应的DSA侧的连接器(14)，将信号顺次传送到所有的连接器(21、14)，并检测有无输出信号。

主权项

1、一种带有基板异常检测电路的装置，具有由多个基板组合构成的至少一组基板群、和与该基板群连接的对方基板，其特征在于，具备：ID设定用板，其分别被设置在所述基板群的各个基板上，对该基板群设定所附与的规定ID号码，同时输出表示该ID号码的ID信号；ID信号输入板，其被设置在与所述基板群对应的对方基板上，输入由所述ID设定用板输出的各ID信号；和比较装置，输入由所述ID信号输入板输出的各ID信号，与对应的所述各基板的ID信号进行比较；检测所述基板群中基板的组合异常。