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发明名称 SEMICONDUCTOR EQUIPMENT HAVING EXHAUST PIPE
摘要
申请公布号 KR20050072234(A) 申请公布日期 2005.07.11
申请号 KR20040000608 申请日期 2004.01.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, SANG HUN;LEE, JAE HONG
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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