发明名称 Leitfähige Haltepfosten in luftspaltbasierenden, optoelektronischen Bauelementen
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft opto-elektronische Bauelemente und Verfahren zu ihrer Herstellung. Insbesondere betrifft sie vertikal orientierte Bauelemente mit einem Schichtaufbau (69) mit mehreren, optisch wirksamen Schichten (53, 56, 57, 58, 59) und wenigstens einem luftgefüllten Schichtzwischenraum (55), wobei der Schichtaufbau mittels wenigstens einer äußeren, einem Randbereich des Schichtaufbaus zugeordneten Randstütze (67) gehalten wird. Um eine erhöhte mechanische Stabilität des Schichtaufbaus zu erreichen, wird vorgeschlagen, wenigstens zwei der Schichten des Schichtaufbaus durch ein Verbindeelement (68) fest miteinander zu verbinden, wobei sich das Verbindeelement nicht in dem Randbereich des Schichtaufbaus und möglichst dicht an dem optisch genutzten Bereich (51) der Schichten befindet.
申请公布号 DE10353546(A1) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 DE20031053546 申请日期 2003.11.14
申请人 UNIVERSITAET KASSEL 发明人 IRMER, SOEREN;DALEIDEN, JUERGEN;HILLMER, HARTMUT;TARRAF, AMER
分类号 G02B26/00;H01S5/183;(IPC1-7):H01S5/183;H01S5/343;H01S5/02;H01L33/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
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