Vorrichtung zur Erzeugung angeregter und/oder ionisierter Teilchen in einem Plasma und Verfahren zur Erzeugung ionisierter Teilchen

摘要

Es wird eine Vorrichtung zur Erzeugung angeregter und/oder ionisierter Teilchen in einem Plasma mit einem Generator zur Erzeugung einer elektromagnetischen Welle und einer Anregungskammer mit einer Plasmazone, in der die angeregten und/oder ionisierten Teilchen gebildet werden, beschrieben. Mindestens eine Anregungskammer ist in einem Isolatormaterial außermittig zu einem ringzylindrischen Außenleiter angeordnet.