| 发明名称 |
Verfahren und System zum Erhöhen der Produktionsausbeute durch Steuern der Lithographie auf der Grundlage elektrischer Geschwindigkeitsdaten |
| 摘要 |
Das elektrische Verhalten von Untergruppen wird erfasst und die entsprechenden Messdaten werden verwendet, um einen Lithographieprozess so zu steuern, um beliebige Arten von Prozessfluktuationen während einer Herstellungssequenz zu kompensieren.
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| 申请公布号 |
DE10355573(A1) |
申请公布日期 |
2005.07.07 |
| 申请号 |
DE20031055573 |
申请日期 |
2003.11.28 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
SELTMANN, ROLF;WAGNER, HEIKO;STEPHAN, ROLF |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/20;G06F17/50;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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