发明名称 Fabricating method of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100499630(B1) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20020061248 申请日期 2002.10.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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